康奈尔大学：MOCVD工具推进氧化镓半导体研究

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MOCVD工具推进氧化镓半导体研究

指南者留学 2022-07-21 15:25:39 阅读量：1647

<p>指南者留学全国统一咨询热线：<a href="tel:4001831832" style="color:#1677ff; text-decoration:none;">400-183-1832</a>，全国各地区、各分公司联系方式均为此号码。</p><div data-page-id="doxcnZSSfarCRuhmd74qVtV4lpb" data-docx-has-block-data="true"> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnKCOkqseQw4U80o8XkCFwVd"><span class="p"><img style="display: block; margin-left: auto; margin-right: auto;" src="https://info.compassedu.hk/sucai/content/1658474652354/1658474652354.png" width="808" height="454" /></span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnKCOkqseQw4U80o8XkCFwVd" style="text-align: center;"><span class="h6">博士生Cameron Gorsak将反应器打开到金属有机化学气相沉积系统，该系统用于制造氧化镓薄膜。</span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnowqKoYuEkq2Y4HmDOwBD5g" style="text-align: justify;"><span class="p"> </span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcn4WciECYsouQ8yqmppQanIg" style="text-align: justify;"><span class="p">康奈尔大学的工程师和材料科学家在他们的实验室设备套件中增加了最先进的工具，帮助该大学成为氧化镓研究的世界领导者，氧化镓通常被视为碳化硅和氮化镓的继承人，作为许多电力电子应用的首选半导体。</span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnaISe4YIsUiyKac4r8q19Nb" style="text-align: justify;"><span class="p"> </span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnO2ISagKWsUOe0AFvzz6jOc" style="text-align: justify;"><span class="p">Agnitron Agilis 100金属有机化学气相沉积（MOCVD）系统于6月30日在材料科学与工程助理研究教授Hari Nair的Duffield Hall实验室开始运行。它经过专门校准，可形成氧化镓薄膜，氧化镓是一种半导体材料，因其处理高电压，功率密度和频率的能力而备受赞誉。这些属性使其成为电动汽车，可再生能源和5G通信以及其他应用的理想材料。</span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnEM4YMGUgqCYagJuWz15Xig" style="text-align: justify;"><span class="p"> </span></div> <div class="image-uploaded gallery old-record-id-doxcnCqeUoqeGQ8wieMqnb1Qbzh" data-type="image" data-ace-gallery-json="{"items":[{"uuid":"17b3f71e-459c-4086-90db-2209243f2511","height":446,"width":670,"currHeight":446,"currWidth":670,"natrualHeight":446,"natrualWidth":670,"pluginName":"imageUpload","scale":1,"src":"https%3A%2F%2Finternal-api-drive-stream.feishu.cn%2Fspace%2Fapi%2Fbox%2Fstream%2Fdownload%2Fall%2FboxcnbDzzXqjmTiPTG8UXsxg4cf%2F%3Fmount_node_token%3DdoxcnCqeUoqeGQ8wieMqnb1Qbzh%26mount_point%3Ddocx_image","file_token":"boxcnbDzzXqjmTiPTG8UXsxg4cf","image_type":"image/jpeg","size":79513,"comments":[]}]}"><span class="p"><img style="display: block; margin-left: auto; margin-right: auto;" src="https://info.compassedu.hk/sucai/content/1658474661070/1658474661070.png" width="670" height="446" /></span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcn0os4a6ACcWwIiOc4f7Lomf" style="text-align: center;"><span class="h6">Hari Nair，材料科学与工程助理研究教授（左）和博士生Cameron Gorsak在金属有机化学气相沉积系统前。</span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcn02iwSk6aQQYa21jYg4gzbg" style="text-align: justify;"><span class="p"> </span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnY8WGiOaqgiK26LKRlzYqTd" style="text-align: justify;"><span class="p">“氧化镓的另一个关键优势是能够从其熔融形式中生长这种材料的单晶，”Nair说，“这将是扩大基板尺寸的关键。这种扩大规模的能力对于行业采用使用新型半导体材料制造的电子设备非常重要。</span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnYk6SQe4GiKCyGw64fs0UMF" style="text-align: justify;"><span class="p"> </span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcns0QU6kyEyKoYM5L26sCtAb" style="text-align: justify;"><span class="p">氧化镓MOCVD系统的工作原理是将金属有机镓前体喷涂在加热的单晶半导体基板上。热量使前体分解，释放出镓原子，然后与晶片表面的氧原子结合，从而产生高质量的氧化镓结晶层。</span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnimOw2iwgsgGSyeE7yVG7qg" style="text-align: justify;"><span class="p"> </span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnAiyq4SKASsYmKJwCN5ZWxm" style="text-align: justify;"><span class="p">MOCVD是生产化合物半导体外延薄膜的行业标准，例如III族砷化物，III族磷化物和III族氮化物，它们在光学和移动通信以及固态照明等应用中起着重要作用。在过去的五年中，使用MOCVD生长的氧化镓的质量稳步提高。</span></div> <div class="ace-line ace-line old-record-id-doxcnOiw64cEuYYE6iqK1PDIj5g" style="text-align: justify;"><span class="p"> </span></div> <div class="image-uploaded gallery old-record-id-doxcnSSKmYWycIS6OeAKCrIt2wg" data-type="image" data-ace-gallery-json="{"items":[{"uuid":"e8cd4d16-909e-4a5f-9bc9-bfb6bb26aa31","height":902,"width":670,"currHeight":902,"currWidth":670,"natrualHeight":902,"natrualWidth":670,"pluginName":"imageUpload","scale":1,"src":"https%3A%2F%2Finternal-api-drive-stream.feishu.cn%2Fspace%2Fapi%2Fbox%2Fstream%2Fdownload%2Fall%2Fboxcni13ZeyTbai2rjzJUgEF7xQ%2F%3Fmount_node_token%3DdoxcnSSKmYWycIS6OeAKCrIt2wg%26mount_point%3Ddocx_image","file_token":"boxcni13ZeyTbai2rjzJUgEF7xQ","image_type":"image/jpeg","size":145764,"comments":[]}]}"><span class="p"><img style="display: block; 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